Zur Messung der thermischen Verlagerungen unter Einsatzbedingungen sollte das Gerät Dauerbewegungen ausführen, wobei der Greifer nach einer bestimmten Zeit zu einer definierten Meßstelle hinfährt, an der die Wiederholgenauigkeit in den drei Haupt-Achsrichtungen von drei Präzisionsmeßtastern oder Induktivaufnehmern gemessen wird. Die thermischen Verlagerungen trägt man in Abhängigkeit von der Zeit in einem Diagramm auf. Parallel zu den Verlagerungsmessungen werden die Temperaturen an markanten Stellen des Gerätes mit einem Widerstandsthermometer erfaßt, um detaillierte Rückschlüsse auf die Ursachen der thermischen Verlagerungen zu erhalten.