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Quasi monolithic integration of Silicon-MEMS with piezoelectric actuators for High Speed non-contact Atomic Force Microscopy, in: 56. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium

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Allgemeine Angaben

Autor Guliyev, Elshad; Volland, B.E.; Sarov, Y.; Ivanov, Tzv.; Klugowski, M.; Rangelow, I.W.; Manske, Eberhard
Erschienen  TU Ilmenau, Ilmenau, 2011
Ausgabe  
Umfang  
ISBN
Sammlungen
ab 2000
Übergeordnete Werke
 
no fulltext found 56. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium | 56. IWK - International Scientific Colloquium
Autor: Pufke, Michael; Hilbrunner, Falko; Diethold, Christian; Fröhlich, Thomas; Schalles, Marc; Blumröder, Götz; Augustin, Silke; Mammen, Helge; Irrgang, K.; Meiselbach, U.; Rizzuti, Sergio; Rosa, Raffaele; Tkatchenko, O.; Tkachenko, R.; Hirniak, Y.; Orest, Ivakhiv; Mushenyk, Petro; Böhm, V.; Jentzsch, Alexander; Kaufhold, Tobias; Schneider, F.; Zimmermann, Klaus; Wendt, Gudrun; Ahlers, Franz Josef; [...]
Erschienen: 2011
Verknüpfte Datensätze
Dokumente: 56. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
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Datenbereitsteller
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Verwaltungsinformationen
Publikationsdatum 2011

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